A Newly Developed Compact Nano-Positioning Table System Using Squeeze Bearing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Newly Developed Compact Nano-Positioning Table System Using Squeeze Bearing

著者

和文:	後閑利通, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	Toshimichi GOKAN, Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 4th International conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)

巻, 号, ページ

Vol. 07 No. 205 pp. 177-180

出版年月

2007年11月

出版者

和文:
英文:	The Japan Society of Mechanical Engineers(JSME)

会議名称

和文:
英文:	The 4th International conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)

開催地

和文:
英文:	Fukuoka