薄膜ZMC法によるFeSi2薄膜の作製と温度による結晶相の制御 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	薄膜ZMC法によるFeSi2薄膜の作製と温度による結晶相の制御
英文:

著者

和文:	井上健, 寺澤真輔, 伊原学.
英文:	Takeru Inoue, shinsuke terasawa, Manabu Ihara.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	化学工学会第39回秋季大会研究発表講演要旨集
英文:

巻, 号, ページ

pp. CD-ROM..

出版年月

2007年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第39回化学工学会
英文:

開催地

和文:	北海道
英文:

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