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論文・著書情報


タイトル
和文:スキャニングアニールによるナノ粒子FeSi2/Si複合薄膜の作製とその構造 
英文: 
著者
和文: 寺澤 真輔, 井上 建, 源関 聡, 伊原 学.  
英文: shinsuke terasawa, Takeru Inoue, genseki, Manabu Ihara.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:化学工学会第39回秋季大会研究発表講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. CD=ROM
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第39回化学工学会 
英文: 
開催地
和文:北海道 
英文: 

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