Extreme-ultraviolet Intensity of Discharge-based Lithium Plasma for Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Extreme-ultraviolet Intensity of Discharge-based Lithium Plasma for Lithography

著者

和文:	MASNAVIMAJID, 中島充夫, 河村徹, 堀田栄喜, 堀岡一彦.
英文:	majid masnavi, MITSUO NAKAJIMA, Tohru Kawamura, EIKI HOTTA, KAZUHIKO HORIOKA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料
英文:	The Papers of Technical Meeting on Pulsed Power technology

巻, 号, ページ

Vol. PPT-07-38～47 pp. 35-40

出版年月

2007年11月

出版者

和文:	電気学会
英文:	IEE Japan

会議名称

和文:	パルスパワー研究会
英文:	Technical Meeting on Pulsed Power Technology

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo