油空圧機器と超精密加工技術―流体制御技術の適用による３次元ナノ加工の実現

論文・著書情報

タイトル

和文:	油空圧機器と超精密加工技術―流体制御技術の適用による３次元ナノ加工の実現
英文:	Pneumatics & Ultrapresion Machining - Three-dimensional Nano Machining Using Pneumatics

著者

和文:	新野秀憲, 吉岡勇人.
英文:	Hidenori SHINNO, Hayato YOSHIOKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	油空圧技術
英文:	Hydraulics & Pneumatics

巻, 号, ページ

Vol. 47 No. 1 pp. 1-6

出版年月

2008年1月

出版者

和文:	日本工業出版
英文:	Nikko-pb

会議名称

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開催地

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