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論文・著書情報


タイトル
和文:「グローバル配線」オンチップ伝送線路配線技術 
英文: 
著者
和文: 伊藤 浩之, 岡田 健一, 益 一哉.  
英文: Hiroyuki Ito, Kenichi Okada, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2007年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文: 
英文:2007年秋季 第68回応用物理学会講演会 分科内総合講演 「LSI 多層配線の微細化限界とブレークスルー技術」(11.4半導体Aシリコン,配線技術) 
開催地
和文: 
英文: 

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