Properties of N-type Hydrogenated Nanocrystalline Cubic Silicon Carbide Films Deposited by VHF-PECVD at a Low Substrate Temperature

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Properties of N-type Hydrogenated Nanocrystalline Cubic Silicon Carbide Films Deposited by VHF-PECVD at a Low Substrate Temperature

著者

和文:	宮島晋介, Makoto Sawamura, 山田明, 小長井誠.
英文:	Shinsuke Miyajima, Makoto Sawamura, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors

巻, 号, ページ

pp. FrO3.1.

出版年月

2007年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 22nd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors(ICANS 22)

開催地

和文:
英文:	Colorado, USA

アブストラクト

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