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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Preparation of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbon Nitride Films by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Using Hexamethyldisilazane for Silicon Solar Cell Applications 
著者
和文: LIMMANEE AMORNRAT, Michio Otsubo, 佐藤 剛彦, 宮島 晋介, 山田 明, 小長井 誠.  
英文: Amornrat Limmanee, Michio Otsubo, Takehiko Sato, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 46    No. 1    pp. 56-59
出版年月 2007年1月 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1143/JJAP.46.56

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