Delamination Behavior of Hard Film on Soft Substrate During Nano- and Micro- Indentation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Delamination Behavior of Hard Film on Soft Substrate During Nano- and Micro- Indentation

著者

和文:	上月謙太郎, 大宮正毅, 岸本喜久雄.
英文:	Kentaro Kozuki, Masaki Omiya, Kikuo Kishimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MicroNanoReliability 2007 Abstract

巻, 号, ページ

p. 133

出版年月

2007年9月

出版者

和文:
英文:	MicroNanoReliability 2007 Abstract

会議名称

和文:
英文:	MicroNanoReliability 2007 Abstract

開催地

和文:
英文:	Berlin, Germany