低比誘電率Bi<sub>2</sub>WO<sub>6</sub>薄膜のMFISへの適用 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	低比誘電率Bi₂WO₆薄膜のMFISへの適用
英文:

著者

和文:	岡沢昴, 梅山将志, 丸山研二, 石原宏.
英文:	岡沢昴, 梅山将志, 丸山研二, HIROSHI ISHIWARA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2007年(平成19年)春季第54回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 29a-SV-10/Ⅱ

出版年月

2007年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2007年(平成19年)春季第54回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	神奈川県相模原市青山学院大学
英文:

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