レーザトリガ型EUV放電光源の開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザトリガ型EUV放電光源の開発
英文:	Development of Laser-triggered Light Source for EUV Lithography

著者

和文:	渡邊正人, 岸望, 山田淳三郎, 堀田栄喜.
英文:	MASATO WATANABE, Nozomu Kishi, Junzaburo Yamada, EIKI HOTTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成２０年電気学会全国大会講演論文集
英文:	The 2008 Annual Meeting Record

巻, 号, ページ

Vol. 1 p. 60

出版年月

2008年3月

出版者

和文:	電気学会
英文:	IEE Japan

会議名称

和文:	平成２０年電気学会全国大会
英文:	The 2008 Annual Meeting IEE Japan

開催地

和文:	福岡
英文:	Fukuoka