“Step coverage study of indium-tin-oxide thin films by spray CVD on non-flat substrates at different temperatures”

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	“Step coverage study of indium-tin-oxide thin films by spray CVD on non-flat substrates at different temperatures”

著者

和文:	T. Kondo, 澤田豊, 秋山賢輔, 舟窪浩, 木口賢紀, S. Seki, M.H. Wang, T. Uchida.
英文:	T. Kondo, Yutaka Sawada, Kensuke Akiyama, HIROSHI FUNAKUBO, TAKANORI KIGUCHI, S. Seki, M.H. Wang, T. Uchida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films,

巻, 号, ページ

Vol. 516 pp. 5864–5867

出版年月

2008年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: