放電生成プラズマEUV光源の最適化

論文・著書情報

タイトル

和文:	放電生成プラズマEUV光源の最適化
英文:	Optimization of Discharge Produced Plasma EUV Light Source

著者

和文:	堀田栄喜.
英文:	EIKI HOTTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第55回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
英文:	Extended Abstract (The 55th Spring Meeting, 2008)

巻, 号, ページ

No. 0 p. 83

出版年月

2008年3月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第55回応用物理学関係連合講演会
英文:	The 55th Spring Meeting, 2008

開催地

和文:	日本大学理工学部習志野キャンパス, 千葉
英文:	Chiba