放電プラズマ光源の放射物理，変換効率，技術的課題

論文・著書情報

タイトル

和文:	放電プラズマ光源の放射物理，変換効率，技術的課題
英文:	Radiation physics, conversion efficiency and technical issues of discharge produced plasma EUV light sources

著者

和文:	堀田栄喜, 東工大EUVグループ.
英文:	EIKI HOTTA, 東工大EUVグループ.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第24回プラズマ・核融合学会年会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2007年11月

出版者

和文:	プラズマ・核融合学会
英文:

会議名称

和文:	第24回プラズマ・核融合学会年会シンポジウムVI「プラズマ極端紫外(EUV)光源」
英文:

開催地

和文:	姫路
英文: