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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Maskless ion implantation of cerium by focused ion beam 
著者
和文: M.Kagami, T.shiokawa, Y.Segawa, Y.Aoyagi, S.Namba, H.Okada, T.Ito.  
英文: M.Kagami, T.shiokawa, Y.Segawa, Y.Aoyagi, S.Namba, H.Okada, T.Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn.J.Appl.Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 27        pp. 1157
出版年月 1988年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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