Vertical Nano-Positioning System for Precision Machine

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Vertical Nano-Positioning System for Precision Machine

著者

和文:	吉岡勇人, Takahashi, M., 新野秀憲.
英文:	Yoshioka, H., Takahashi, M., Shinno, H..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 10th Anniversary International Conference of the Europan Society for Precision Engineering and Nanotechnology

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 372-375

出版年月

2008年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	10th Anniversary International Conference of the European society for Precision Engineering and Nanotechnology

開催地

和文:
英文:	Zurich, Switzerland