Defect passivation and homogenization of amorphous oxide thin-film transistor by wet O2 annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Defect passivation and homogenization of amorphous oxide thin-film transistor by wet O2 annealing

著者

和文:	Kenji Nomura, 神谷利夫, Hiromichi Ohta, Masahiro Hirano, 細野秀雄.
英文:	Kenji Nomura, Toshio Kamiya, Hiromichi Ohta, Masahiro Hirano, Hideo Hosono.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 93 pp. 192107-1～192107-3

出版年月

2008年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI