Metallization on polymer via quantitatively controlled catalyzation in Sc-CO2 and electroless plating with Sc-CO2 emulsion for micro and nano device

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Metallization on polymer via quantitatively controlled catalyzation in Sc-CO2 and electroless plating with Sc-CO2 emulsion for micro and nano device

著者

和文:	WOO BYUNG HOON, 曽根正人, 柴田曉伸, 石山千恵美, Kaoru Masuda, 肥後矢吉.
英文:	Byung-Hoon Woo, Masato Sone, Akinobu Shibata, Chiemi Ishiyama, Kaoru Masuda, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronics Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 86 pp. 1179-1182

出版年月

2009年5月

出版者

和文:
英文:	ELSEVIER

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: