SiN-based Micro Cantilever Actuators Using NdFeB/Ta Permanent Magnetic Thin Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	SiN-based Micro Cantilever Actuators Using NdFeB/Ta Permanent Magnetic Thin Film

著者

和文:	Yao Sen, 後藤駿治, 櫻井淳平, 進士忠彦, Minoru Uehara, Hitoshi Yamamoto.
英文:	Sen Yao, Shunji Goto, Junpei Sakurai, TADAHIKO SHINSHI, Minoru Uehara, Hitoshi Yamamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 4th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems

巻, 号, ページ

pp. 411-414

出版年月

2009年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proceedings of IEEE-NEMS

開催地

和文:
英文:	Chenzhen China

DOI