Atmospheric large sized pulse/RF remote plasma source for surface treatment

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atmospheric large sized pulse/RF remote plasma source for surface treatment

著者

和文:	佐々木良太, 熊谷航, 宮原秀一, 堀田栄喜, 沖野晃俊.
英文:	ryouta sasaki, Wataru Kumagai, Hidekazu Miyahara, Eiki Hotta, Akitoshi Okino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

p. 67 P-05

出版年月

2009年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing(2008/04/21～2008/04/23)

開催地

和文:
英文: