Atmospheric large-sized damage-free plasma source for metal surface treatment

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atmospheric large-sized damage-free plasma source for metal surface treatment

著者

和文:	Ryota Sasaki, 山崎正太郎, 宮原秀一, 嶋田隆一, 堀田栄喜, 沖野晃俊.
英文:	Ryota Sasaki, Shotaro Yamasaki, Hidekazu Miyahara, Ryuichi Shimada, Eiki Hotta, Akitoshi Okino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

p. 53 B-3

出版年月

2008年11月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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