Simultaneous measurement of film thickness and surface profile of film-covered objects by using white-light interferometry.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Simultaneous measurement of film thickness and surface profile of film-covered objects by using white-light interferometry.

著者

和文:	小川英光, Shimoyama, K., Fukunaga, M., Kitagawa, K., 杉山将.
英文:	Ogawa, H., Shimoyama, K., Fukunaga, M., Kitagawa, K., Sugiyama, M..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Transaction of the Society of Instrument and Control Engineers,

巻, 号, ページ

Vol. 43 no. 2 pp. 71-77

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: