Simultaneous measurement of film thickness and surface profile of film-covered objects by monochromatic light interferometry.

論文・著書情報

タイトル

和文:	単色光干渉法による透明膜に覆われた物体の膜厚と表面形状の同時測定.
英文:	Simultaneous measurement of film thickness and surface profile of film-covered objects by monochromatic light interferometry.

著者

和文:	小川英光, 中野渡祥裕, 北川克一, 杉山将, 内藤卓人..
英文:	Ogawa, H., Nakanowatari, A., Kitagawa, K., Sugiyama, M., Naito, T..

言語

English

掲載誌/書名

和文:	計測自動制御学会論文集
英文:	Transacitons of the Society of Instrument and Control Engineers

巻, 号, ページ

vol. 45 no. 2 pp. 73-82

出版年月

2009年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI