Synthesis of DLC Films by Nanopulse Plasma CVD in Open Air

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of DLC Films by Nanopulse Plasma CVD in Open Air

著者

和文:	大竹尚登, 近藤好正, T. Saito, T. Terazawa, 齊藤雅典.
英文:	N. Ohtake, Y.Kondo, T. Saito, T. Terazawa, M. Saito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. The 2nd India-Japan Joint Seminar on Micro/Nano Manufacturing Science

巻, 号, ページ

pp. 183-185

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 2nd India-Japan Joint Seminar on Micro/Nano Manufacturing Science

開催地

和文:
英文:	Kanpur, India