Deposition of Diamond-Like Carbon Films and Amorphous Boron Nitride Films using Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of Diamond-Like Carbon Films and Amorphous Boron Nitride Films using Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition Method

著者

和文:	齊藤雅典, T. Saito, 近藤好正, 村上碩哉, 大竹尚登.
英文:	M. Saito, T. Saito, 近藤好正, H. Murakami, N. Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstract of 18th Int. Symp. Plasma Chemistry

巻, 号, ページ

pp. 380

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: