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論文・著書情報


タイトル
和文:ICP援用ナノパルスプラズマCVDによるBN系薄膜の合成 
英文: 
著者
和文: 齊藤雅典, 齊藤隆雄, 村上碩哉, 大竹尚登.  
英文: Masanori Saito, 齊藤隆雄, Hiroya MURAKAMI, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2008年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 917-918
出版年月 2008年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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