Single-shot interferometry of film-covered objects: local model fitting for simultaneous measurement of film thickness and surface profile of film-covered objects.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Single-shot interferometry of film-covered objects: local model fitting for simultaneous measurement of film thickness and surface profile of film-covered objects.

著者

和文:	Naito, T., 杉山将, 小川英光, Kitagawa, K., Suzuki, K..
英文:	Naito, T., Sugiyama, M., Ogawa, H., Kitagawa, K., Suzuki, K..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	In Proceeding of The Japan Society for Precision Engineering 2008 Autumn Semestrial Conference,

巻, 号, ページ

no. C33 pp. 183-184

出版年月

2008年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The Japan Society for Precision Engineering 2008 Autumn Semestrial Conference,

開催地

和文:
英文:	Sendai, Japan