Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:Ar注入とSiN応力膜によるパターン付Si基板への歪記憶技術の検討 
英文: 
著者
和文: 中山寛人, 日野雅文, 服部健雄, 杉井信之, 筒井一生, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 小椋厚志, 永田 晃基, 吉田 哲也, 小瀬村大亮, 岩井洋.  
英文: Hiroto Nakayama, Masafumi Hino, takeo hattori, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, Atsushi Ogura, Akimoto Nagata, Tetsuya Yoshida, 小瀬村大亮, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 2    pp. 743
出版年月 2008年9月 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:秋季第69回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:中部大学 
英文: 

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.