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論文・著書情報
タイトル
和文:
Ar注入とSiN応力膜によるパターン付Si基板への歪記憶技術の検討
英文:
著者
和文:
中山寛人
,
日野雅文
,
服部健雄
,
杉井信之
,
筒井一生
,
パールハットアヘメト
,
角嶋邦之
,
小椋厚志
,
永田 晃基
,
吉田 哲也
,
小瀬村大亮
,
岩井洋
.
英文:
Hiroto Nakayama
,
Masafumi Hino
,
takeo hattori
,
Nobuyuki Sugii
,
KAZUO TSUTSUI
,
Ahmet Parhat
,
Kuniyuki KAKUSHIMA
,
Atsushi Ogura
,
Akimoto Nagata
,
Tetsuya Yoshida
,
小瀬村大亮
,
HIROSHI IWAI
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
応用物理学会
英文:
巻, 号, ページ
No. 2 pp. 743
出版年月
2008年9月
出版者
和文:
応用物理学会
英文:
会議名称
和文:
秋季第69回応用物理学会学術講演会
英文:
開催地
和文:
中部大学
英文:
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