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論文・著書情報


タイトル
和文:3次元Fin構造中不純物プロファイリングのための反復犠牲酸化エッチング 
英文: 
著者
和文: 酒井一憲, 中川恭成, 横田知之, 金成国, 岡下勝己, 佐々木雄一朗, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 水野文二, 服部健雄, 筒井一生, 岩井洋.  
英文: Kazunori Sakai, Yasumasa Nakagawa, Kazuyuki Yokota, Chengguo Jin, Katsumi Okashita, 佐々木雄一朗, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, Bunji Mizuno, takeo hattori, KAZUO TSUTSUI, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:秋季第69回応用物理学会学術講演会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 2    pp. 749
出版年月 2008年9月 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:秋季第69回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:中部大学. 
英文: 

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