トップダウンSiナノワイヤFETの作製法とその電気的特性のサーベイ

論文・著書情報

タイトル

和文:	トップダウンSiナノワイヤFETの作製法とその電気的特性のサーベイ
英文:

著者

和文:	岩井洋, 山田啓作, 大毛利健二, 筒井一生, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 佐藤創志, 上村英之, 新井英朗.
英文:	HIROSHI IWAI, Keisaku Yamada, Kenji Ohmori, KAZUO TSUTSUI, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Soshi Sato, Hideyuki Kamimura, Hideaki Arai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第56回応用物理学関係連合講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 0 pp. 147

出版年月

2009年3月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第56回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	筑波大学
英文: