異種金属界面挿入によるNiシリサイドのショットキー障壁変調とSB-MOSFETへの応用

論文・著書情報

タイトル

和文:	異種金属界面挿入によるNiシリサイドのショットキー障壁変調とSB-MOSFETへの応用
英文:

著者

和文:	細田亘, 野口浩平, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Wataru Hosoda, unknown unknown, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第56回応用物理学会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2 pp. 868

出版年月

2009年3月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第56回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	筑波大学
英文: