SiナノワイヤへのNiシリサイド形成の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	SiナノワイヤへのNiシリサイド形成の評価
英文:

著者

和文:	新井英朗, 上村英之, 佐藤創志, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Hideaki Arai, Hideyuki Kamimura, Soshi Sato, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第56回応用物理学関係連合講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

No. 2 pp. 901

出版年月

2009年3月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第56回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	筑波大学
英文: