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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Experimental Study for High Efffective Mobility with directly deposited HfO2/La2O3 MOSFET
著者
和文:
川那子高暢
,
宋在烈
,
角嶋邦之
,
パールハットアヘメト
,
筒井一生
,
杉井信之
,
服部健雄
,
岩井洋
.
英文:
Takamasa Kawanago
,
Jaeyeol Song
,
Kuniyuki KAKUSHIMA
,
Ahmet Parhat
,
KAZUO TSUTSUI
,
Nobuyuki Sugii
,
takeo hattori
,
HIROSHI IWAI
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
INFOS2009
巻, 号, ページ
Vol. 86 pp. 1629-1631
出版年月
2009年6月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
INFOS2009, Microelectronic Engineering
開催地
和文:
英文:
Cambridege University, UK
©2007
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