Influence of the Crystal Orientation of Substrate on Low Temperature Synthesis of Silicon Nanowires from Si2H6

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of the Crystal Orientation of Substrate on Low Temperature Synthesis of Silicon Nanowires from Si2H6

著者

和文:	AKHTAR SAEED, 田中敦之, 宇佐美浩一, 土屋良重, 小田俊理.
英文:	Saeed Akhtar, A Tanaka, K. Usami, Y. Tsuchiya, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 517(5) pp. 317-319

出版年月

2008年11月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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