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論文・著書情報


タイトル
和文:IGZOおよびIn2O3をチャネルに用いた強誘電体ゲートTFTの作製 
英文: 
著者
和文: 羽賀健一, 大岩朝洋, 徳光永輔.  
英文: Kenichi Haga, Tomohiro Oiwa, Eisuke Tokumitsu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     3P40   
出版年月 2009年11月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:薄膜材料デバイス研究会 第六回研究集会 
英文: 
開催地
和文:龍谷大学（京都） 
英文: 

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