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タイトル
和文:
ゾルゲル法によるITO及びIn2O3薄膜の形成と酸化物チャネル薄膜トランジスタへの応用
英文:
著者
和文:
奥村優作
,
徳光永輔
.
英文:
Yusaku Okumura
,
Eisuke Tokumitsu
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
2P39
出版年月
2009年11月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
薄膜材料デバイス研究会 第六回研究集会
英文:
開催地
和文:
龍谷大学(京都)
英文:
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