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論文・著書情報


タイトル
和文:ゾルゲル法によるITO及びIn2O3薄膜の形成と酸化物チャネル薄膜トランジスタへの応用 
英文: 
著者
和文: 奥村優作, 徳光永輔.  
英文: Yusaku Okumura, Eisuke Tokumitsu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     2P39   
出版年月 2009年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:薄膜材料デバイス研究会 第六回研究集会 
英文: 
開催地
和文:龍谷大学（京都） 
英文: 

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