A Newly Developed X-Y Planer Nano-Motion Table System with Large Travel Ranges

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Newly Developed X-Y Planer Nano-Motion Table System with Large Travel Ranges

著者

和文:	Yugo KURIHASHI, 澤野宏, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	Yugo KURIHASHI, Hiroshi SAWANO, Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)

巻, 号, ページ

Vol. 5 pp. 187-190

出版年月

2009年12月

出版者

和文:
英文:	The Japan Society of Mechanical Engineers(JSME)

会議名称

和文:
英文:	The 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century

開催地

和文:
英文:	December 2-4, 2009, Osaka University Convention Center, Japan