厚膜レジストSU-8 微小円柱パターン－Si 基板間の接合強度に及ぼすアスペクト比の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	厚膜レジストSU-8 微小円柱パターン－Si 基板間の接合強度に及ぼすアスペクト比の影響
英文:	Effect of Aspect Ratio on Adhesive Strength between Microsized SU-8 Cylinder and Si Substrate

著者

和文:	石山千恵美, 柴田曉伸, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	CHIEMI ISHIYAMA, Akinobu Shibata, Masato Sone, YAKICHI HIGO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第５８回高分子討論会予稿集
英文:	Polymer preprints, Japan

巻, 号, ページ

Vol. 58 No. 2 1L1-17

出版年月

2009年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第５８回高分子討論会
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開催地

和文:
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