重水素・ヘリウムの同時照射によるスパッタリング | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	重水素・ヘリウムの同時照射によるスパッタリング
英文:

著者

和文:	赤塚洋.
英文:	HIROSHI AKATSUKA.

種別

種別:	学位論文(修士)
国名:

言語

学位授与組織

京都大学

報告番号

学位授与日

1987/--/--

審査員

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