T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of PbZr_xTi_1-xO₃(PZT) films on Si substrates and their device application

著者

和文:	朴炳垠.
英文:	BYUNG-EUN PARK.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:

言語

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

学位授与日

1999/--/--

審査員

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