Low Temperature Oxidation of Si Using Novel Ceramic Atomic Oxygen Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low Temperature Oxidation of Si Using Novel Ceramic Atomic Oxygen Source

著者

和文:	千葉哲也, 神谷利夫, 細野秀雄, 林克郎.
英文:	Tetsuya Chiba, Toshio Kamiya, Hideo Hosono, Katsuro Hayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2009年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The Third International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-3)

開催地

和文:
英文:	Mielparque Yokohama (Yokohama)