Rare-earth based mixed oxide as high-k gate dielectrics for Ge MOSFET

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rare-earth based mixed oxide as high-k gate dielectrics for Ge MOSFET

著者

和文:	M.K. Bera, 宋在烈, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	M.K. Bera, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2009年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	G-COE PICE International Symposium on Silicon Nano Devices

開催地

和文:
英文:	Tokyo Institute of Technology, Japan