In-situ Etching in MOVPE for Thin Collector of InP HBT with Buried SiO2 Wire

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ Etching in MOVPE for Thin Collector of InP HBT with Buried SiO2 Wire

著者

和文:	宮本恭幸, 山下浩明, 武部直明, 古屋一仁.
英文:	YASUYUKI MIYAMOTO, Hiroaki Yamashita, Naoaki Takebe, KAZUHITO FURUYA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2009年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Topical Workshop on Heterostructure Materials (TWHM2009)

開催地

和文:
英文:	Nagano