Diagnostics of oxygen-rare gas mixed plasmas excited by microwave discharge

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ波放電励起による酸素-希ガス混入プラズマの分光診断
英文:	Diagnostics of oxygen-rare gas mixed plasmas excited by microwave discharge

著者

和文:	高井渉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	Wataru Takai, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第27回「プラズマプロセシング研究会」(SPP27)プロシーディングス
英文:	Proceedings 27th Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

pp. 175-176

出版年月

2010年2月

出版者

和文:	社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
英文:	Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第27回「プラズマプロセシング研究会」(SPP27)
英文:	The 27th Symposium on Plasma Processing

開催地

和文:	横浜市開港記念館
英文:	Port Opening Memorial Hall, Yokohama