Discharge Produced Plasma EUV Light Source

論文・著書情報

タイトル

和文:	放電プラズマによるEUV光源
英文:	Discharge Produced Plasma EUV Light Source

著者

和文:	堀田栄喜.
英文:	EIKI HOTTA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第27回プラズマプロセシング研究会
英文:	The 27th Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

T-04 pp. 11-12

出版年月

2010年2月

出版者

和文:	応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
英文:	Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第27回プラズマプロセシング研究会
英文:	The 27th Symposium on Plasma Processing

開催地

和文:	横浜
英文:	Yokohama

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