Development of a Secondary Electron Emission Gun and Its Application to VOC Treatment

論文・著書情報

タイトル

和文:	パルス二次電子銃の開発とVOC分解への応用
英文:	Development of a Secondary Electron Emission Gun and Its Application to VOC Treatment

著者

和文:	加藤大輔, 杉原良, 清水政志, 渡辺正人, 堀田栄喜.
英文:	Daisuke Kato, Ryo Sugihara, Nasashi Shimizu, Masato Watanabe, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第27回プラズマプロセシング研究会
英文:	The 27th Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

P2-28 pp. 279-280

出版年月

2010年2月

出版者

和文:	応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
英文:	Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第27回プラズマプロセシング研究会
英文:	The 27th Symposium on Plasma Processing

開催地

和文:	横浜
英文:	Yokohama