Photocatalytic machining of organic molecular layer on a Si wafer surface by use of a porous TiO2 micro wire

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Photocatalytic machining of organic molecular layer on a Si wafer surface by use of a porous TiO2 micro wire

著者

和文:	曽根良明, 大垣武, 岸哲生, 西尾圭史, 松本睦良, 安盛敦雄.
英文:	Y. Sone, T. Ohgaki, T. Kishi, K. Nishio, M. Matsumoto, A. Yasumori.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Ceram. Soc. Jpn

巻, 号, ページ

Vol. 116 pp. 341-344

出版年月

2008年

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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