くし歯アクチュエータを用いた高速MEMSスイッチングミラーの作製と評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	くし歯アクチュエータを用いた高速MEMSスイッチングミラーの作製と評価
英文:

著者

和文:	和田裕之.
英文:	Hiroyuki Wada.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

乙第3656号

学位授与日

2003/03/31

審査員

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