微細加工技術を用いた気体用センサの開発 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細加工技術を用いた気体用センサの開発
英文:	Development of micro fabricated gas sensors

著者

和文:	五十嵐康一.
英文:	Koichi Igarashi.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第6907号

学位授与日

2007/03/26

審査員

ファイル

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