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論文・著書情報


タイトル
和文:表面処理用大気圧大型リモートプラズマ源 
英文: 
著者
和文: 佐々木良太, 熊谷航, 宮原秀一, 嶋田隆一, 堀田栄喜, 沖野晃俊.  
英文: ryouta sasaki, Wataru Kumagai, hidekadzu miyahara, Ryuichi Shimada, EIKI HOTTA, AKITOSHI OKINO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会論文誌A 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 129    No. 12    pp. 903-908
出版年月 2009年12月1日 
出版者
和文:社団法人 電気学会 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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